Во процесот на таложење од плазма во хемиска пареа (PECVD), секоја електрична врска, од RF пренос на енергија до контрола на гасот во процесот, директно влијае на униформноста на таложењето на тенок филм и приносот на чип. Соочувајќи се со суровата средина на минијатуризирана опрема, висок вакуум и силни електромагнетни пречки,ВАГОpicoMAX® конекторите, со нивните три основни предности „компактност, сигурност и ефикасност“, станаа идеално решение за поврзување за PECVD системите.
Иновативен компактен дизајн
Прилагодување на распоредот на прецизните комори
Внатрешниот простор на PECVD опремата е ограничен, што бара густо распоредување на линиите за напојување, сигнал и сензори околу реакционата комора. picoMAX® користи дизајн со една пружина, двојно дејство, со повеќекратни растојанија на пиновите од 3,5/5,0/7,5 mm. По спојувањето, зафаќа 30% помалку простор од претходните производи, совршено прилагодувајќи се на барањата за ожичување околу комората. Неговиот конектор од типот на дупка е речиси целосно вграден во заглавието на пинот, поддржувајќи склопување еден до друг без губење на половите, значително подобрувајќи ја искористеноста на печатената плоча и овозможувајќи уредно распоредување на сигналните и електричните линии без да се меша со полето на проток на гасот во процесот.
Робусна заштита од екстремни услови на работа
PECVD процесите вклучуваат средини со висок вакуум, високофреквентна плазма и вибрации, поставувајќи строги барања за сигурноста на конекторот. picoMAX® се одликува со стабилна структура со отпорност на вибрации до 12g, спречувајќи олабавување на конекцијата предизвикана од високофреквентни вибрации. Исто така, вклучува дизајн против погрешно вметнување и уред за заклучување, елиминирајќи ги грешките при инсталација и спречувајќи случајно исклучување, обезбедувајќи континуирано работење на опремата без застој.
Брзо поврзување без алатки
picoMAX® се одликува со технологија за брзо поврзување без алатки, што овозможува поврзување „вклучи и држи“ и за едножилни и за повеќежилни жици со ладно цедени конектори. Комплексните поврзувања на жици се завршуваат во еден чекор, значително подобрувајќи ја ефикасноста на склопувањето и скратувајќи ги циклусите на дебагирање. Модуларниот дизајн е компатибилен со процесите на репродуктивно лемење, задоволувајќи ги потребите за намалување на трошоците за автоматизирано производство. Исто така, ги опфаќа сите сценарија за поврзување PECVD: растојанието на пиновите од 3,5 mm одговара на сигнални жици од 0,2-1,5 mm², додека растојанието на пиновите од 5,0/7,5 mm поддржува далноводи од 16A. Поддржува методи за инсталација од жица до плоча и низ ѕид, е компатибилен со контролниот кабинет и жиците во шуплината и е во согласност со стандардите за електрична безбедност GB/T 5226.1, градејќи солидна одбрана за стабилност на процесот.
Во полупроводничката индустрија, каде што прецизноста на процесот на нанометриско ниво е од најголема важност, сигурните врски се гаранција за висок принос.ВАГОpicoMAX®, со својот револуционерен концепт за дизајн на производот, постигнува „мала големина, високи перформанси“ во рамките на компактен простор, обезбедувајќи стабилни, ефикасни и долготрајни решенија за поврзување за PECVD опрема. Ова им помага на производителите на полупроводници да ги надминат предизвиците на прецизните процесни поврзувања, заштитувајќи ја прецизноста на ниво на микрометар на секој чип.
Време на објавување: 13 март 2026 година